유기 발광 장치(Organic light emitting diode, OLED)는 가볍고, 휴대가 편리하며, 자체 발광, 저전력 소비, 높은 밝기, 유연한 디스플레이 등의 특징을 가지고 있어 디스플레이 제품의 부가가치를 높일 수 있어 과학계와 산업계에서 널리 주목받고 있습니다. 그러나 OLED 장치 내 유기 재료는 공기 중의 수증기와 산소에 매우 민감하여, 장치가 보호 포장 없이 공기 중에 장기간 보관될 경우 OLED의 작동 성능과 수명에 심각한 영향을 미칩니다. 적합한 전송층 재료 선택, 표면층 구조 및 계면 공학을 통한 재료의 수분 및 산소 내성 향상 외에도, 장치의 신뢰성 있는 포장은 공기 중 수증기와 산소의 침투를 차단하는 효과적인 방법입니다. 원자층 증착(Atomic layer deposition, ALD)은 실험실에서 검증된 효과적인 박막 증착 패키징 기술로, ALD의 자기 제한 반응 특성 덕분에 저온에서 두께가 정밀하게 제어되고 균일하며 치밀한 박막을 증착할 수 있으며, ALD로 증착된 박막은 우수한 기계적 유연성, 초고 차단 성능 및 광학 투과율을 갖는 경우가 많습니다. 본 논문은 원자층 증착 기술의 원리를 검토하고, ALD로 제조된 박막의 수분 투과율을 분석하며, 단일층 및 유기-무기 적층 박막 패키징 제조에서 ALD의 기술적 장점을 비교합니다.

박막 패키징;유기 발광 장치;원자층 증착;유연 디스플레이;수분 투과율