プラズマ表面改質によるインシチュ成長型高解像度ペロブスカイト発光ダイオード

FAN Shiyi ,  

ZHENG Yueting ,  

CHEN Xuwen ,  

CHEN Bowen ,  

CHEN Weiguo ,  

YANG Kaiyu ,  

摘要

準二次元ペロブスカイトは、その優れた光電特性、高い発光効率および溶液加工特性により、次世代の高解像度ディスプレイ分野における理想的な材料となっている。しかし、高解像度ディスプレイへの応用において、従来のパターニング技術は高解像度、高忠実度およびペロブスカイト薄膜の品質を両立させることが困難である。印刷技術は解像度が限定され、「コーヒーリング」効果が発生しやすい。光リソグラフィは光損傷リスクがあり、工程が複雑である。レーザーダイレクトライティングはコストが高く、材料利用効率が低い。これに対し、本研究では熱ナノインプリントと親水性/疎水性テンプレートによる結晶化誘導を基盤とした高解像度パターニング戦略を提案する。プラズマ表面改質により、親水性差を有するハニカム状ポリメチルメタクリレート(PMMA)薄膜を構築し、界面エネルギー勾配を利用して所定の親水領域においてペロブスカイト前駆体溶液の選択的限局成長を駆動し、境界が明瞭で均一かつ高密度なペロブスカイトマイクロアレイを実現した。この方法で作製した高解像度ペロブスカイト発光ダイオード(PeLED)は、527 nmの発光ピークを示し、最大外部量子効率(EQE)は7.24%、最大輝度は9474 cd·m⁻²に達した。本研究は、高性能ペロブスカイトマイクロディスプレイデバイスの作製において、高解像度、簡便なプロセスおよび優れた薄膜品質を兼ね備えたパターニング手法を提供する。

关键词

ペロブスカイト;インシチュ成長;高解像度;パターニング;結晶制御

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