ナノインプリントと熱制御転写に基づく高解像度量子ドット発光ダイオード

XIE Xiaoting ,  

LIN Haiyan ,  

ZHAO Yusen ,  

CHEN Weiguo ,  

YANG Kaiyu ,  

摘要

量子ドット発光ダイオード(Quantum dot light-emitting diodes、QLEDs)は、高い色純度、広い色域、溶液加工適合性などの利点を持ち、次世代の高解像度表示技術の重要な発展方向とされています。しかし、量子ドット(Quantum dots、QDs)の光学性能を損なわずに高解像度パターン形成を実現することは、実用化への重要な技術的課題です。本論文では、高解像度QLEDs製造におけるパターン形成の課題に対し、ナノインプリントと熱制御転写に基づく新しいパターン形成プロセスを提案します。本手法はシリコン型を用いてポリビニルブチラール(PVB)表面にハニカム状の微細構造を形成し、溶液の濡れ性により量子ドットの選択的充填を制御し、熱制御転写プロセスを経て、特徴寸法1.5 µm、解像度9,072ピクセル毎インチ(PPI)の高い均一性を持つ量子ドットアレイを作製可能です。さらに高解像度の型を用いることで最大25,400 PPIのピクセル密度を持つ量子ドットアレイの作製にも成功しました。さらに、空孔輸送層(Hole transport layer、HTL)上に量子ドットアレイを形成することで、最大外部量子効率(EQE)10.91%、最大輝度164,421 cd/m²を達成した高解像度赤色QLEDデバイス(9,072 PPI)の作製に成功しました。本研究は、高解像度QLEDsの製造における安定的かつ再現可能な新たなパターン形成手法を提供します。

关键词

量子ドット発光ダイオード(QLEDs);高解像度;ナノインプリント;熱制御転写

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