摘要
単斜晶相二酸化モリブデン二次元薄膜は、貴金属に匹敵する優れた性能を有し、薄膜の厚さによって調整可能であり、環境および廃水監視用検出器やセンサーなどの分野で大きな応用可能性を示しています。高性能な二酸化モリブデン二次元薄膜デバイスを得るための前提条件の一つは、薄膜の厚さをインサイトで迅速かつ非破壊的に測定できることです。本論文では、二酸化モリブデン二次元薄膜のラマン分光が薄膜厚さに依存する関係を研究し、二酸化モリブデン二次元薄膜の厚さをインサイトで非破壊的に検出する方法を提案します。532 nmの励起光源を使用し、二酸化モリブデン二次元薄膜の127 cm-1のラマン特性ピーク位置の変化により材料の厚さの変化を効果的に反映できます。励起光の偏光を変えることで、二酸化モリブデン二次元薄膜の結晶軸方向の較正も行えます。このラマン分光の結果は、二酸化モリブデン二次元薄膜デバイスにおける膜厚の監視に有効で便利な手段を提供します。
关键词
二酸化モリブデン薄膜;ラマン分光;インサイト非破壊検出
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