摘要
一次元フォトニッククリスタルナノビーム共振器を有する導波路型外部共振器半導体レーザーが提案された。反射型半導体光増幅器とシリコン基ナノビーム共振器を接続結合することで、ハイブリッド集積レーザーを実現した。ナノビーム共振器は、高品質因子、小さなモード体積、およびコンパクトなサイズを持ち、狭線幅でチューニング可能な外部共振器半導体レーザーを構築するためのコアパッシブデバイスである。我々はナノビーム共振器向け導波路型外部共振器レーザーの総合シミュレーションモデルを構築し、反射型半導体光増幅器とシリコン単一モードリニア導波路の高効率結合を実現するためにモードコンバーターを最適化し、さらにモードコンバーター挿入損失および外部共振器反射率が外部共振器レーザーの発振性能に及ぼす影響を検討した。ナノビーム共振器の環境屈折率を変化させることでレーザ波長の高効率なチューニングが可能であり、チューニング効率のシミュレーション値は120 nm/RIUであった。設計された外部共振器レーザーのナノビーム共振器のサイズはわずか0.7 μm×20 μmであり、線幅のシミュレーション値は30 kHzである。
关键词
外部共振器半導体レーザー;ナノビーム;シリコンフォトニクス;ハイブリッド集積
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