940nm垂直共振器面発光レーザー性能に対する共振周期ゲインアクティブ領域のAlxGa1-xAsスペーサ層の影響

WU Bin ,  

DONG Hailiang ,  

JIA Zhigang ,  

JIA Wei ,  

MA Shufang ,  

SHANG Lin ,  

XU Bingshe ,  

摘要

PICSの3Dシミュレーションソフトウェアを用いて、異なるAl組成のAlxGa1-xAsスペーサ層を持つ共振周期ゲイン(Resonant Periodic Gain、RPG)アクティブ領域を設計し、940nm垂直共振器面発光レーザー(Vertical Cavity Surface Emitting Laser、VCSEL)の光電特性を研究し、高出力および高電力変換効率の実現を目指した。シミュレーション結果より、スペーサ層のAl組成が0.1のとき、RPG VCSELのピーク出力は24.32mW、ピーク電力変換効率は51.7%に達した。スペーサ層のバンド構造を解析し、RPG VCSELアクティブ領域内のキャリア輸送特性を研究した。研究結果はAl組成を調整することで、バンド構造を制御し放射再結合確率を制御できることを示し、これによりスペーサ層内の電子および正孔の蓄積が効果的に減少し、非放射再結合が低減された。本研究は、ストレイン補償型量子井戸RPGアクティブ領域のスペーサ材料選択に理論的指針とデータサポートを提供する。

关键词

垂直共振器面発光レーザー;高出力;共振周期ゲインアクティブ領域;AlxGa1-xAsスペーサ層

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