酸化ガリウムは、低エネルギーX線の吸収効率が高く、高い動作電界、低い暗電流、高い物理化学的安定性などの利点を持ち、直接変換型X線検出器の重要な候補材料の一つです。本論文では、材料、デバイス構造、光電変換メカニズム、デバイス応用の各側面から、酸化ガリウムのX線検出特性とデバイス研究の進展について詳細に総説しました。現在までに、非晶質酸化ガリウム薄膜、多結晶（微小結晶およびナノ結晶を含む）酸化ガリウム薄膜、高配向性エピタキシャル単結晶酸化ガリウム薄膜、単結晶酸化ガリウムバルクおよび単結晶酸化ガリウムマイクロワイヤーなどの材料のX線検出器が作製され、それらの検出性能が研究されています。採用されたデバイス構造には、金属-半導体-金属（MSM）、ショットキー接合、ヘテロ接合および真空構造が含まれ、光電導利得、アバランシェ利得および電子衝撃誘起光電導効果などの多様な光電変換メカニズムが提案されています。デバイス応用の面では、酸化ガリウムX線検出器のX線線量計、X線イメージングおよびウェアラブルX線センサーへの応用が紹介されています。これらの研究進展に基づき、酸化ガリウムX線検出器研究の将来展望についても述べています。

酸化ガリウム;X線検出器;結晶性;薄膜;光電変換メカニズム