酸化ルテチウム（Lu₂O₃）は、高い熱伝導率、低いフォノンエネルギー、強い結晶場を持ち、有望なレーザー結晶材料とされています。しかし、2450 ℃に達する高い融点は顕著な温度勾配を生み、多数の欠陥を誘発します。この結晶の欠陥に関する研究はまだ不十分であり、結晶の品質向上を妨げています。本研究では、化学エッチング法を用いて異なる条件下でのLu₂O₃結晶のエッチング効果を調査し、Lu₂O₃結晶の転位欠陥を研究するための最適条件（質量分率70% H₃PO₄、160 ℃、15〜18分）を特定しました。光学顕微鏡、走査電子顕微鏡および原子間力顕微鏡を用いて、（111）および（110）配向のLu₂O₃ウェハ上の転位エッチングピット形態を特徴付けました。本研究はLu₂O₃の線状欠陥に関する認識のギャップを埋め、結晶成長プロセスの最適化および結晶品質向上への指針を提供します。

Lu₂O₃;腐食ピット;転位;結晶欠陥