摘要
高性能半導体X線検出器は、低検出限界、低暗電流、高感度、高速応答、強い耐放射線性能などの特長を備えている必要があります。炭化ケイ素、窒化ガリウム、ダイヤモンド、酸化ガリウム、および酸化亜鉛などの広帯域半導体は、広いバンドギャップ幅、高い電子移動度、高い耐電圧、高い飽和キャリアドリフト速度、大きな転位エネルギーなどの特性を持ち、X線検出において優れた性能を示し、高性能半導体X線検出器の特長要件を満たしており、有望なX線検出器となっています。本稿では、炭化ケイ素、窒化ガリウム、ダイヤモンド、酸化ガリウム、および酸化亜鉛などの広帯域半導体材料の特性、製造技術、およびX線検出器研究の最新進展を紹介し、医療画像、産業検査、宇宙探査などの将来の研究方向および潜在的応用に参考となることを目的としています。
关键词
広帯域;半導体;X線検出器;炭化ケイ素;窒化ガリウム;ダイヤモンド
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