摘要
酸化亜鉛ナノ冷陰極は優れた場放出特性、安定した化学的特性、低コストかつ大面積製造の容易さを兼ね備えており、大面積冷陰極電子源デバイスにおいて重要な応用を持つ。長年の研究により、酸化亜鉛ナノ冷陰極の場放出メカニズム、性能制御、電子源デバイス応用に関する研究が相次いで報告されている。酸化亜鉛ナノ冷陰極の実用化をさらに推進するためには、その開発状況および課題を総括する必要がある。本稿では、大面積冷陰極電子源デバイスの性能要件を出発点として、場放出特性調整、ゲート構造設計および製造、X線源デバイス応用探索の3つの側面から酸化亜鉛ナノ冷陰極の研究進展をまとめ、最後に将来の研究動向および課題を展望する。
关键词
酸化亜鉛ナノワイヤ;冷陰極;平面型電子源;平面型X線源
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