酸化亜鉛ナノ冷陰極は優れた場放出特性、安定した化学的性質、低コストで大面積製造が容易である特徴を有し、大面積冷陰極電子源デバイスに重要な応用を持っています。長年の研究を経て、酸化亜鉛ナノ冷陰極の場放出メカニズム、性能制御、電子源デバイス応用に関する研究が相次いで報告されています。酸化亜鉛ナノ冷陰極の実用化をさらに推進するためには、その発展状況と課題をまとめる必要があります。本稿では、大面積冷陰極電子源デバイスの性能要求を出発点として、場放出特性の制御、ゲート構造設計・製造、およびX線源デバイス応用探索の3つの観点から酸化亜鉛ナノ冷陰極の研究進展を総括し、最後に今後の研究動向と課題を展望します。

酸化亜鉛ナノワイヤ;冷陰極;平板電子源;平板X線源