摘要
集積フォトニクスデバイス技術の最新の進展は、市場が求めるコンパクトで高効率な光電システムのニーズを十分に満たすとともに、光学的メタサーフェス技術の発展を強力に促進しています。特に、垂直共振器面発光レーザー（VCSEL）とメタサーフェスの統合により、特定の波面を持つベクトル光ビームを生成し、光電システムの機能性と柔軟性を大幅に向上させます。本論文では、Si3N4ナノアンテナアレイメタサーフェスを基盤とした850 nm VCSELを設計し、ナノアンテナ構造のパラメータを調整することで、2<inline-formula><alternatives><math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" id="M1"><mi mathvariant="normal">π</mi></math><graphic specific-use="big" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/82E599C0-0906-4f67-9581-2E0D9CF575F6-M001.jpg"?></graphic><graphic specific-use="small" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/82E599C0-0906-4f67-9581-2E0D9CF575F6-M001c.jpg"?></graphic></alternatives></inline-formula> を超える位相カバレッジを実現し、第1次および第2次の渦巻相板を採用して、異なる次数の渦巻光ビームを成功裏に生成しました。この成果は、光学的メタサーフェスを用いたVCSEL光場制御技術に新たな展望を提供します。
关键词
メタサーフェス;渦巻きビーム;垂直共振器面発光レーザー;集積フォトニクスデバイス
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