摘要
集積フォトニクスデバイス技術の最新の進展は、コンパクトで高効率な光電システムに対する市場のニーズを十分に満たすとともに、光学メタサーフェステクノロジーの発展を強力に促進しています。特に、垂直共振器面発光レーザー（VCSEL）とメタサーフェスの統合により、特定の波面を持つベクトル光束を生成し、光電システムの機能性と柔軟性を大幅に向上させます。本論文では、Si3N4ナノアンテナアレイメタサーフェスをベースにした850 nm VCSELを設計し、ナノアンテナ構造パラメータの調整により2πを超える位相カバレッジを実現し、1次および2次の渦位相板を用いて異なる次数の渦光束を成功裏に生成しました。この成果は、光学メタサーフェスによるVCSEL光場制御技術に新たな発想を提供します。
关键词
メタサーフェス;渦光束;垂直共振器面発光レーザー;集積フォトニクスデバイス