ZnO基デバイスにおける負の光電導特性の研究

ZHANG Qingyi ,  

YANG Yuxin ,  

LIU Kai ,  

WANG Lei ,  

CHEN Feng ,  

XU Chunxiang ,  

摘要

第三世代半導体デバイスにおける最も有名なn型金属酸化物の一つである酸化亜鉛は、高い検出率、高い光学利得、高い感度などの特性から、高性能紫外線光電検出器の構築に頻繁に使用されている。酸化亜鉛の光電導挙動は、その表面界面特性および伝導帯付近の欠陥状態による光起電荷キャリアの捕獲と解放に強く依存している。研究によれば、キャリアの損失や欠陥捕獲のため、ZnOデバイスでは持続光電導現象(Persistent photoconductivity)や負の光電導(Negative photoconductivity、NPC)効果も観察されている。本稿はZnOデバイスの正の光電導機構から出発し、異なる製造条件や環境温度、異なる駆動方式、誘電体複合体およびヘテロ構造において観察される負の光電導現象とその負の光電導効果を生み出す微視的物理メカニズムについて詳しく紹介する。酸化亜鉛の負の光電導特性の研究は、高効率論理回路、発光ダイオード、太陽電池、超高解像度撮像センサーの構築に新たなアイデアを提供することができる。

关键词

酸化亜鉛;光電特性;負の光電導

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