摘要
酸化亜鉛（ZnO）は比較的広い直接バンドギャップ（3.37 eV）、十分な励起子結合エネルギー（60 meV）および良好な利得特性を有し、低次元の高効率純紫外光発光およびレーザー素子の理想的な材料である。現在、様々な形態のZnOマイクロキャビティを基盤とした光励起レーザーは実現されているが、電気駆動素子の開発こそが実用化への鍵である。本稿ではZnOの基本特性およびそのマイクロ／ナノ構造の一般的な作製方法を簡単に概説し、異なる素子構造ごとにZnOマイクロ／ナノ構造を用いた発光およびレーザー素子の主要な研究進展を整理する。まず、低次元ZnOヘテロ構造およびショットキー構造を基にした発光およびレーザー素子とそれに対応する性能最適化手法の研究進展を述べ、さらにp型ZnO材料および対応するホモ構造発光およびレーザー素子の研究現状を議論し、最後にZnO基素子に依然として存在する課題および今後の発展方向について総括し展望する。
关键词
酸化亜鉛;発光素子;レーザー素子;ヘテロ接合;ホモ接合
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