ZnOレーザーは利得特性において顕著な利点を持つものの、ZnO材料のエッチング工程が任意サイズのマイクロキャビティの製作を制限しており、オンチップ応用を妨げています。本研究では、絶縁シリコン（SOI）基板上でパターニングされたZnO成長により、浮遊したZnOマイクロディスクアレイを作製し、マイクロキャビティの構造、形態および光誘起発光（PL）特性を体系的に研究しました。マイクロキャビティは円形構造を持ち、表面張力と応力の協調作用によりZnOマイクロディスクは独特なリング状構造を示し、側壁表面は滑らかです。ZnOマイクロディスク（直径8μm）は光励起されたウェーブガイドモード（WGMs）紫外レーザーを得て、Q因子は1300を超えました。さらに興味深いことに、マイクロキャビティの光と物質の相互作用の増強により、ZnOマイクロディスクキャビティの光学特性は良好で、高励起状態におけるZnO材料のバンドギャップ再構成（BGR）現象を支持し、レーザーモードも共に変調されました。実験結果は、ポンプ電力の増加に伴い、レーザー光スペクトルがBurstein-Moss（BM）効果による青方偏移と電子-正孔プラズマ（EHP）効果による赤方偏移を経験したことを示しています。

酸化亜鉛;マイクロディスク;チューナブルレーザー;分子線エピタキシー