VO2相変化制御に基づくGa2O3/VO2ヘテロ接合デバイスのモデリングとシミュレーション

FENG Yunsong ,  

ZHOU Changqi ,  

WANG Siyu ,  

LU Yuan ,  

JIN Wei ,  

SHANG Yuanxin ,  

LI Yafan ,  

CHEN Youcai ,  

摘要

COMSOL multiphysicsソフトウェアを用いて、Ga2O3/VO2に基づくヘテロ接合光電デバイスの2次元物理シミュレーションを行った。VO2相変化制御に基づくGa2O3/VO2ヘテロ接合光電デバイスのドーピング曲線、エネルギーレベル図、電界分布および電位分布を分析し報告した。光電探知器としてのデバイスの応用を探究し、1 Vのバイアスおよび10 μWの照射条件下でのデバイスのピーク応答率は0.068 A/W、抑制比(R250 nm/R450 nm)は105オーダーに達した。これらのシミュレーションデータは、Ga2O3/VO2光電ダイオードの実験研究および応用のさらなる最適化に資するものである。

关键词

Ga2O3/VO2ヘテロ接合;COMSOL;VO2相変化;エネルギーレベル構造;シミュレーション

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