ダイヤモンドの優れた材料特性は、太陽盲紫外線検出分野で大きな応用可能性を有しています。本論文では、マイクロ波プラズマ化学気相成長装置を用いて（111）結晶面の単結晶シリコン基板上にダイヤモンド薄膜を成膜し、この薄膜を基に光刻レジスト熱分解法によりグラファイト材料の平面インターデジタル電極MSM構造のダイヤモンド太陽盲紫外線検出器を作製し、全炭素ダイヤモンド検出器の実現に新たな方法を提供しました。結果は、該当シリコン基板上のダイヤモンド薄膜が高配向多結晶薄膜であり、（111）結晶面のXRD 2θスキャン半値幅が0.093°、ラマンスペクトルのダイヤモンド特性ピークのピーク位置が1332 cm^-1、半値幅が4 cm^-1で、薄膜の結晶性が良好であることを示し、グラファイト電極紫外線検出器の5 Vバイアス電圧下の暗電流は2.07×10^-8 A、光暗電流比は77、スイッチング特性は良好であり、グラファイト電極検出器は優れた時間応答性を持ち、立ち上がり時間は30 ms、立ち下がり時間は430 msでした。

ダイヤモンド薄膜;グラファイト電極;太陽盲紫外線検出器