熱蒸着法はペロブスカイト発光ダイオードの商用ディスプレイ応用を実現する信頼性の高い技術です。しかし、熱蒸着で形成されたペロブスカイト薄膜のPLQYはしばしば低く、パッシベーション手法は溶液法ほど多様ではありません。本稿では、インシチュ共蒸着技術によりパッシベーターをペロブスカイト層に導入する方法を報告します。この方法は真空成膜ペロブスカイト中の欠陥をパッシベートし、放射再結合を強化し、ペロブスカイトのPLQYを向上させます。リン酸基は不飽和部位と配位錯体を形成し、ペロブスカイトの結晶界欠陥をパッシベートし、バンドテイル状態欠陥を抑制します。最適比率のペロブスカイト薄膜を用いて作製したLEDデバイスは最大6.3％のEQE、最大35,642 cd/m²の最大輝度を示しました。さらに、全真空プロセスに基づくデバイス製造により、最大EQE5.0％の312 ppi高解像度PeLEDを得ました。総じて、本稿は熱蒸着PeLEDの欠陥パッシベーションに有用な指針を提供し、効率と輝度向上に大きな可能性があり、商業化の展望を備えていることを示しています。

ペロブスカイト発光ダイオード;熱蒸着;欠陥パッシベーション;ピクセル化