深紫外LEDは物理的な方法でウイルスや細菌の構造を破壊し、高効率の消毒効果を得ることができます。成熟したブルーLEDに比べて、深紫外LEDの封止信頼性と光出力率の向上方法は依然として重要な課題です。本論文では基板の予熱方式を用いた微固化封止接着剤を採用し、アレイ点滴方式で石英ガラスを銅めっき囲堤に固定することで、半無機封止の深紫外LEDを製造しました。本デバイスの出力波長は275nmで、半値全幅は約11nmです。従来の半透明材料封止デバイスと比較して、石英封止の深紫外LEDはより高い光出力率を有します。真空赤インクおよびヘリウム漏れ率実験において、本稿で提案した半無機封止技術を用いた深紫外LEDデバイスは高い気密性を示しました。さらに、加速劣化試験において、当該封止デバイスの光減衰率は20％以内でした。実験結果は、有機封止の深紫外LEDデバイスと比較して、基板予熱条件下でアレイ点滴方式により石英ガラスを固定することが現状の深紫外LEDの信頼性向上の封止方法であることを示しています。

深紫外LED;信頼性;光出力率;基板予熱;アレイ点滴