日盲紫外線検出器は、防衛および民生分野の両方で幅広い応用展望を持っている。広いバンドギャップ半導体材料に基づく日盲紫外線検出器は、高価なフィルターを必要とせず、低い動作電圧、全固体、小型、軽量、耐干渉性が強く、広い動作温度範囲などの特徴を持ち、新世代の紫外線検出器として認識されている。多くの広バンドギャップ半導体材料の中で、Ga₂O₃を代表とするガリウム系酸化物材料は、その優れた電気的および光電特性により、近年マイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクスの分野で研究のホットスポットとなっている。特にその固有の日盲性、高温耐性、高圧耐性、良好な化学的安定性などの優れた特性により、これらの材料は日盲紫外光電探知分野で大きな発展可能性を示している。これを踏まえ、本稿では異なる結晶構造のGa₂O₃、ガリウムリン酸塩酸化物、ガリウム錫酸化物、ガリウムアルミニウム酸化物などのガリウム系酸化物薄膜およびその日盲紫外線検出器の研究進展を概説する。

日盲;紫外線検出器;Ga₂O₃;ガリウム系酸化物;ガリウムリン酸塩酸化物;ガリウム三元合金酸化物