摘要
ガラス基板表面に銀酸化物の種子層を導入する方法を提案し、良好な表面性、光学的および電気的特性を有する超薄型透明導電Ag薄膜の作製に成功した。まず、熱蒸着法によりガラス基板上に1nmの銀薄膜を成長させ、その後当該薄膜を空気プラズマ処理して銀酸化物種子層を形成した。この種子層はAg原子のランダムな移動を抑制し、後続のAg原子の核形成密度を高めることでAg原子の迅速な膜形成を促進する。超薄型透明酸化銀/銀薄膜を陽極として利用することで、高効率リン光性有機電気発光デバイスを実現し、デバイスの最大電流効率および電力効率はそれぞれ60.4 cd·A-1、63.2 lm·W-1であり、従来のITOデバイスの1.45倍および1.60倍であった。本研究結果は、酸化銀を種子層とした超薄型透明Ag薄膜が透明導電電極として大いに発展の可能性を有することを示している。
关键词
酸化銀; 空気プラズマ; 透明陽極; 有機電気発光デバイス
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