原子層堆積されたSnO_x薄膜は優れた均一性と緻密性を持ち、逆構造平面型ペロブスカイト太陽電池の安定性向上にしばしば用いられる。SnO_x薄膜の特性は、デバイスのエネルギー変換効率（Power conversion efficiency、PCE）に重要な影響を与える。本研究では、酸素源（H₂O、O₃）を用いてSnO_x薄膜のエネルギーレベルおよび導電性を制御し、デバイスのPCEを向上させた。結果は、O₃を単一酸素源としたSnO_x薄膜（O₃‐SnO_x）が優れたエネルギーレベル整列を示し、H₂Oのみを酸素源としたSnO_x薄膜（H₂O‐SnO_x）が高い導電率を持つことを明らかにした。O₃とH₂Oの混合酸素源を用いて調製したSnO_x（MIX‐SnO_x）は、エネルギーレベルのマッチングと良好な導電性を兼ね備え、デバイスのPCEを効果的に20.9%まで向上させた。さらに、SnO_x薄膜の緻密な構造により、外部からの水や酸素の侵入や内部材料の分解・流出を効果的に防止し、デバイスの安定性を向上させ、85 ℃（窒素雰囲気）で646時間以上の経時劣化後も初期PCEの86%以上を維持した。

ペロブスカイト太陽電池;原子層堆積;酸素源制御;SnO_x