摘要
従来のMicro-LEDチップの大量転送および接合、発光チップと駆動電極の高品質接触といった技術的課題に対し、本論文では金属有機化合物の化学気相成長および原子層堆積技術を用いて電気的接触のない窒化ガリウム基Micro-LED素子を作製し、素子の電流‑電圧特性、輝度-周波数特性、発光遅延特性およびインピーダンス-周波数特性などの光電特性を研究し、素子の動作機構を解析した。実験結果から、交流駆動の電気的接触のないMicro-LED素子の電流は周波数の増加に伴って増加し、I-V特性は線形関係を示した。20 Vピークツーピークの駆動信号下で、素子の輝度は周波数の増加に伴い一旦上昇し、その後下降し、25 MHzで輝度が最大となり、発光ピークが電流ピークに遅れていることから、素子の発光に遅延が存在することを示した。素子の等価インピーダンスは周波数の増加に伴い一旦減少し、その後安定する傾向を示し、約53 MHz付近で負の容量現象が観測された。
关键词
Micro-LED素子; 窒化ガリウム; 電気的接触なし; 交流駆動; 光電特性
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