53 Gbit/s高速単一モード940 nm垂直共振器面発光レーザー

XU Han-yang ,  

TIAN Si-cong ,  

HAN Sai-yi ,  

PAN Shao-chi ,  

MANSOOR Ahamed ,  

TONG Cun-zhu ,  

WANG Li-jun ,  

BIMBERG Dieter ,  

摘要

異なる酸化開口径を持つ940 nm垂直共振器面発光レーザー（VCSEL）を作製し、酸化開口径が3、6、9 μmのVCSELを選択してテストおよび特性解析を行った。酸化開口径が3、6、9 μmのVCSELの最大出力はそれぞれ2.92、6.79、10.49 mWであり、変調帯域幅はそれぞれ27.65、23.34、20.56 GHzであった。さらに、酸化開口径3 μmのVCSELは動作電流全域で単一モード動作が可能であり、酸化開口径6 μmおよび9 μmのVCSELは高電流域で少モードおよび多モード特性を示した。最後に、酸化開口径3 μmのVCSELを選択してデータ伝送試験を行い、非帰還ゼロ（NRZ）コードで53 Gbit/sの伝送速度を達成した。

关键词

垂直共振器面発光レーザー;高速;単一モード

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