Les environnements extrêmes tels que la communication optique spatiale et les centrales nucléaires imposent des exigences rigoureuses en matière de fiabilité et de stabilité des dispositifs photoniques intégrés. Les guides d’ondes en silicium traditionnels sont confrontés à un risque important de dégradation des performances dans ces contextes, principalement en raison de leur résistance insuffisante aux radiations et de leur sensibilité chimique. À cet égard, cet article présente la conception et l'étude d’un nouveau guide d’ondes optique à base de Ta₂O₅, doté de propriétés de résistance aux radiations et de stabilité chimique. La structure du guide d’ondes a été optimisée sur la base de la théorie électromagnétique classique, et des expériences ont démontré que ce guide présente de faibles pertes et une excellente capacité de confinement des modes optiques. De plus, son procédé de fabrication est compatible avec les technologies semi-conductrices existantes, offrant un bon potentiel d’intégration, et il peut être utilisé pour réaliser des guides FP (cavité Fabry-Pérot), des guides à réseau, et d’autres dispositifs de sélection pour le transport et le contrôle des photons. Cette étude propose une solution de guide d’ondes haute performance et hautement fiable pour des systèmes de communication et de détection optiques stables dans des environnements fortement irradiés et corrosifs, ouvrant de larges perspectives d’application.

pentaoxyde de tantale; film multicouche; guide d’ondes optique; analyse des modes