Étude du spectre Raman dépendant de l'épaisseur dans les films m-MoO2

GONG Zhilin ,  

BAO Youzhe ,  

SHAN Yuwei ,  

XIN Xing ,  

FAN Dashuo ,  

SHI Zhiming ,  

WANG Weiming ,  

CHANG Kainan ,  

SONG Ying ,  

CHENG Jinluo ,  

摘要

Les films bidimensionnels de dioxyde de molybdène monoclinique possèdent des performances exceptionnelles comparables à celles des métaux précieux, et peuvent être ajustés par l'épaisseur du film, montrant un grand potentiel d'application dans les domaines de la surveillance environnementale, des détecteurs d'eaux usées et des capteurs. L'une des conditions préalables pour obtenir des dispositifs performants à base de films bidimensionnels de dioxyde de molybdène est la capacité à mesurer in situ, rapidement et sans dommage, l'épaisseur du film. Cet article étudie la dépendance du spectre Raman des films bidimensionnels de dioxyde de molybdène à l'épaisseur du film, proposant une méthode pour la détection in situ non destructive de l'épaisseur. En utilisant une source d'excitation de 532 nm, le déplacement du pic caractéristique Raman à 127 cm-1 reflète efficacement les variations d'épaisseur du matériau. En modifiant la polarisation de la lumière excitatrice, l'orientation de l'axe cristallin du film peut également être calibrée. Ces résultats de caractérisation Raman fournissent un moyen efficace et pratique pour surveiller l'épaisseur des films dans les dispositifs à base de films bidimensionnels de dioxyde de molybdène.

关键词

Films de dioxyde de molybdène;Spectroscopie Raman;Détection in situ sans dommage

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