Les films bidimensionnels monoclinaux de dioxyde de molybdène présentent des performances excellentes comparables à celles des métaux précieux, et peuvent être ajustés par l'épaisseur du film. Ils montrent un grand potentiel d'application dans les domaines de la surveillance environnementale, des détecteurs d'eaux usées et des capteurs. L'une des conditions préalables à l'obtention de dispositifs de films bidimensionnels de dioxyde de molybdène haute performance est la capacité à mesurer l'épaisseur du film in situ, rapidement et sans dommage. Cet article étudie la dépendance du spectre Raman des films bidimensionnels de dioxyde de molybdène à l'épaisseur du film, proposant une méthode de détection in situ non destructive de l'épaisseur des films. En utilisant une source d'excitation de 532 nm, le déplacement du pic Raman à 127 cm-1 reflète efficacement les variations d'épaisseur du matériau. En modifiant la polarisation de l'excitation, il est possible de calibrer l'orientation de l'axe cristallin du film bidimensionnel. Ces résultats de caractérisation par spectroscopie Raman offrent un moyen efficace et pratique pour surveiller l'épaisseur des films dans les dispositifs à base de dioxyde de molybdène bidimensionnel.
关键词
film de dioxyde de molybdène; spectroscopie Raman; détection in situ non destructive