Le film bidimensionnel monoclinique de dioxyde de molybdène présente des performances exceptionnelles comparables à celles des métaux précieux, et peut être ajusté par l'épaisseur du film. Il montre un grand potentiel d'application dans des domaines tels que les capteurs et détecteurs environnementaux et de surveillance des eaux usées. L'une des conditions préalables à l'obtention d'appareils à film bidimensionnel de dioxyde de molybdène à haute performance est la capacité à réaliser une détection in situ, rapide et non destructive de l'épaisseur du film. Cet article propose une méthode de détection in situ et non destructive de l'épaisseur de films bidimensionnels de MoO2 basée sur l'étude de la dépendance du spectre Raman à l'épaisseur du film. En utilisant une source laser d'excitation à 532 nm, le déplacement du pic Raman caractéristique à 127 cm^-1 reflète efficacement la variation de l'épaisseur du matériau. En modifiant la polarisation de la lumière d'excitation, l'orientation de l'axe cristallin du film bidimensionnel de MoO2 peut être calibrée davantage. Les résultats de la caractérisation par spectroscopie Raman offrent un moyen efficace et pratique pour surveiller l'épaisseur des films dans les dispositifs à base de films bidimensionnels de dioxyde de molybdène.

film de dioxyde de molybdène; spectroscopie Raman; détection in situ non destructive