Cet article présente un laser à résonateur externe semi-conducteur avec des cristaux photoniques de cavité unidimensionnelle nanométrique, en intégrant un amplificateur à semi-conducteur à réflexion et une cavité nanométrique en silicium, ce qui permet d'obtenir une intégration hybride du laser. La cavité nanométrique présente un facteur de qualité élevé, un faible volume de mode et des dimensions compactes, ce qui en fait le composant passif clé des lasers à résonateur externe semi-conducteurs à bande passante étroite et ajustable. Nous avons établi un modèle de simulation complet pour le laser à résonateur externe avec cavité nanométrique, optimisé le convertisseur de mode pour réaliser un couplage efficace entre l'amplificateur à semi-conducteur à réflexion et le guide d'ondes monomode en silicium, et avons discuté de l'impact des pertes d'insertion du convertisseur de mode et du taux de réflexion du résonateur externe sur les performances d'émission du laser à résonateur externe. Nous avons constaté qu'il est possible de réaliser un ajustement efficace de la longueur d'onde du laser en modifiant l'indice de réfraction de l'environnement de la cavité nanométrique, avec une efficacité d'ajustement simulée de 120 nm/RIU. La taille de la cavité du laser à résonateur externe conçu est de seulement 0,7 µm × 20 µm, et la valeur simulée de la largeur de bande est de 30 kHz.
关键词
laser à résonateur externe semi-conducteur; cavité nanométrique; photonique en silicium; intégration hybride