L'efficacité d'extraction lumineuse relativement faible des Micro-LED rouges à base d'AlGaInP limite l'intensité lumineuse des dispositifs. Cet article propose une technique de masque nanométallique Ni auto-assemblé et une technique de gravure humide, obtenant une texture de surface GaP à haute densité et haute uniformité. La texture de surface augmente l'angle critique et réduit l'effet de réflexion interne totale, améliorant ainsi efficacement l'efficacité d'extraction lumineuse du dispositif. Différentes morphologies de texture de surface ont été obtenues en utilisant des masques de nickel de différentes épaisseurs. Les résultats montrent qu'à une densité de courant de 20 A/cm², l'intensité lumineuse et l'efficacité quantique externe du Micro-LED gravé par gravure humide avec un masque nanométallique de nickel de 1 nm d'épaisseur ont augmenté de 21,04 % et 23,58 % respectivement par rapport au Micro-LED sans texture de surface. Une méthode combinant la gravure sèche ICP et la gravure humide pour préparer une texture de surface cylindrique en forme de nid d'abeilles a été proposée. Après gravure ICP du couche GaP suivie d'une corrosion humide de différentes durées, à une densité de courant de 20 A/cm², l'intensité lumineuse et l'efficacité quantique externe du Micro-LED gravé par ICP et gravure humide (10 s * 3 fois) ont respectivement augmenté de 81,61 % et 48,40 % par rapport au Micro-LED sans texture de surface.

AlGaInP;inversé;efficacité d'extraction lumineuse;Micro-LED;texturation de surface