L'efficacité d'extraction lumineuse relativement faible des Micro-LED rouges à base d'AlGaInP limite l'intensité lumineuse du dispositif. Cet article propose une technique de masque nanométallique Ni auto-assemblé et de gravure humide, permettant d'obtenir une texture de surface GaP à haute densité et haute uniformité. Cette texture de surface augmente l'angle critique et réduit l'effet de réflexion totale interne, améliorant ainsi efficacement l'efficacité d'extraction lumineuse du dispositif. Des textures de surface de morphologies différentes ont été obtenues en utilisant des masques en nickel d'épaisseurs variées. Les résultats montrent qu'à une densité de courant de 20 A/cm², l'intensité lumineuse et l'efficacité quantique externe du Micro-LED gravé humide avec un masque nanométallique en nickel de 1 nm d'épaisseur ont augmenté respectivement de 21,04 % et 23,58 % par rapport au Micro-LED sans texture de surface. Une technique combinant une gravure sèche ICP et une gravure humide a été proposée pour préparer une texture de surface cylindrique en forme de nid d'abeille. Après gravure ICP du même procédé suivie d'une corrosion humide du GaP pendant différents temps, à une densité de courant de 20 A/cm², l'intensité lumineuse et l'efficacité quantique externe du Micro-LED soumis à 10 s*3 fois de gravure ICP et humide ont augmenté respectivement de 81,61 % et 48,40 % par rapport au Micro-LED sans texture de surface.

AlGaInP;inversé;efficacité d'extraction lumineuse;Micro-LED;texturation de surface