La faible efficacité d'extraction de lumière des Micro-LED à base d'AlGaInP limite l'intensité lumineuse du dispositif. Dans cet article, une technique d'auto-assemblage de masques nanométriques de nickel et de gravure humide a été proposée pour obtenir une texture de surface GaP de haute densité et uniformité, augmentant l'angle critique et réduisant l'effet de réflexion totale interne pour améliorer efficacement l'efficacité d'extraction de la lumière du dispositif. Différents types de textures de surface ont été obtenus en utilisant des masques nanométriques de nickel de différentes épaisseurs. Les résultats ont montré que l'intensité lumineuse et le rendement quantique externe des Micro-LED gravés humides avec un masque nanométrique de nickel d'une épaisseur de 1 nm ont augmenté de 21,04% et 23,58% respectivement par rapport aux Micro-LED sans texture de surface, à une densité de courant de 20 A / cm². Une méthode de préparation de texture de surface cylindrique en nid d'abeille utilisant une combinaison de gravure humide et de gravure sèche ICP a été proposée. Après une gravure sèche de la couche GaP par le même procédé, une gravure humide à des durées différentes a été effectuée. À une densité de courant de 20 A / cm², l'intensité lumineuse et le rendement quantique externe des Micro-LED après 3 fois de gravure sèche ICP et de gravure humide pendant 10 secondes ont augmenté de 81,61% et 48,40% respectivement par rapport aux Micro-LED sans texture de surface.

AlGaInP;inversé;efficacité d'extraction de la lumière;Micro-LED;texture de surface