Croissance épitaxiale du nitrure de bore hexagonal et application de dispositifs

Dong Jingnan ,  

Duo Yiwei ,  

Yang Jiankun ,  

Wang Junxi ,  

Wei Tongbo ,  

摘要

Le nitrure de bore hexagonal (h-BN) est un matériau bidimensionnel à large bande interdite, doté d'un arrangement atomique de surface clair, sans liaisons suspendues ni impuretés chargées, et bénéficiant d'une excellente stabilité mécanique, thermique et d'une inertie chimique. En raison de ses propriétés exceptionnelles dans les domaines de la photonique, de l'optique quantique et de l'électronique, il est désormais devenu un support de faible dimension pour tous les scénarios d'application. Dans cet article, la structure de base du h-BN est d'abord présentée de manière systématique ainsi que les propriétés matérielles telles que les propriétés optiques, mécaniques et thermiques, puis les dernières méthodes de préparation du h-BN sont exposées, y compris l'exfoliation, le dépôt chimique et physique en phase gazeuse, l'épitaxie par faisceaux moléculaires, détaillant l'état actuel du dépôt de films minces de h-BN en utilisant le dépôt chimique en phase gazeuse sur des substrats métalliques de transition et diélectriques et en analysant ses avantages uniques. Ensuite, les dernières avancées dans les études d'application des dispositifs basés sur h-BN sont présentées sous de multiples dimensions, telles que le support de transfert, la couche de grille de FET, les dispositifs photoélectroniques DUV, la source de photon unique et le détecteur de neutrons. Enfin, sur la base de l'état actuel de la recherche sur le h-BN et des problèmes clés, certaines des défis et des obstacles auxquels il est confronté sont analysés, et des perspectives de développement futures sont proposées.

关键词

Matériaux bidimensionnels; Nitrure de bore hexagonal; Méthodes de préparation; Application optique

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