Les micro-diodess électroluminescentes (Micro-LED) se caractérisent par une haute luminosité, un fort contraste, une faible consommation d'énergie et une réponse rapide, ce qui leur permet d'être largement utilisées dans l'affichage en extérieur, la réalité augmentée et la réalité virtuelle. Cependant, la miniaturisation des Micro-LED pose des défis pour le contrôle de la distribution spatiale de l'intensité lumineuse. Pour améliorer l'efficacité d'émission, on utilise souvent la technologie des substrats en saphir à motifs (Patterned sapphire substrate, PSS), qui optimise l'extraction de la lumière grâce à des unités de motifs à l'échelle micrométrique. Dans les LED de grande taille, l'impact du PSS sur la distribution spatiale de l'intensité lumineuse est faible, mais il est significatif dans les Micro-LED à l'échelle micrométrique. Cet article utilise la méthode de traçage de rayons pour étudier systématiquement la distribution spatiale de l'intensité lumineuse de Micro-LED PSS de différentes tailles et longueurs d'onde d'émission de 460 nm sous différents décalages d'array, et quantifie l'asymétrie de la distribution spatiale de l'intensité. Enfin, le phénomène est expliqué. Les résultats montrent qu'avec la diminution de la taille, l'impact du PSS sur la distribution spatiale de l'intensité augmente. Lorsque la taille est de 3 μm × 5 μm, l'asymétrie de la distribution spatiale de l'intensité lumineuse sur les axes y et x atteint respectivement 3,06 % et 4,22 %, affectant ainsi l'uniformité d'émission des Micro-LED. Cette étude fournit un support théorique pour la conception optimisée des Micro-LED dans les applications d'affichage.

Micro-LED;substrat en saphir à motifs (PSS);asymétrie