La photolithographie est une méthode fiable pour préparer des films de conversion de couleur pixellisés pour Micro-LED, mais il existe un problème de compatibilité entre les points quantiques et le photorésist. Cet article développe une résine acrylique modifiée par chaîne latérale avec N-phénylmaleimide (NPMI) compatible avec les points quantiques. L’énergie de liaison C-O sur le groupe latéral forme des liaisons de coordination avec les points quantiques, ce qui permet de passiver les défauts de surface et d’améliorer la dispersion des points quantiques, atteignant ainsi un rendement quantique de photoluminescence (PLQY) de 76,1 % (rouge) et 43,4 % (vert) dans la solution de photorésine. Lors de la fabrication finale du film de conversion de couleur, l’effet de passivation est toujours présent, avec un PLQY de 66,4 % pour le vert et de 36,4 % pour le rouge. La taille minimale des motifs pixellisés peut atteindre une matrice rectangulaire de 10 μm × 10 μm. La méthode de modification des chaînes latérales de la résine dans cette étude fournit une orientation pour le développement de photorésines compatibles avec les points quantiques, offrant une solution simple et réalisable pour la commercialisation de Micro-LED tout en couleur.

photorésine à points quantiques; conversion de couleur; modification de résine; pixellisation