Les dernières avancées de la technologie des dispositifs photoniques intégrés répondent pleinement aux besoins du marché en termes de systèmes optoélectroniques compacts et efficaces, et favorisent fortement le développement de la technologie des surfaces optiques superposées. Par exemple, l'intégration d'un laser à émission de surface à cavité verticale (VCSEL) avec une superposition optique peut générer un faisceau lumineux vectoriel avec une front d'onde spécifique, ce qui améliore considérablement la fonctionnalité et la flexibilité du système optoélectronique. Dans cet article, un VCSEL de 850 nm basé sur une superposition de nanoantenne en nitrure de silicium (Si₃N₄) a été conçu. En ajustant les paramètres de la structure de nanoantenne, une couverture de phase de plus de 2 π a été réalisée, et en utilisant un disque de phase vortex de 1er et 2e ordre, des faisceaux lumineux vortex de différents ordres ont été générés avec succès. Ces résultats fournissent une nouvelle approche pour la régulation du champ lumineux du VCSEL par les surfaces optiques superposées.

Surfaces optiques superposées; Faisceau lumineux vortex; Laser à émission de surface à cavité verticale; Dispositifs photoniques intégrés