Les progrès récents dans la technologie des dispositifs photoniques intégrés répondent pleinement aux exigences du marché pour des systèmes optoélectroniques compacts et efficaces, tout en favorisant fortement le développement des métasurfaces optiques. En particulier, l'intégration des lasers à cavité verticale émettant en surface (VCSEL) avec des métasurfaces permet de générer des faisceaux vectoriels avec des fronts d'onde spécifiques, augmentant considérablement la fonctionnalité et la flexibilité des systèmes optoélectroniques. Cet article conçoit un VCSEL à 850 nm basé sur une métasurface constituée d'un réseau d'antennes nanométriques en Si3N4; par la modulation des paramètres de la structure des nanoantennes, une couverture de phase supérieure à 2π a été réalisée, et en utilisant des plaques de phase tourbillonnantes d'ordre 1 et 2, des faisceaux vortex de différents ordres ont été générés avec succès. Ce résultat offre de nouvelles perspectives pour la technologie de contrôle du champ lumineux VCSEL via les métasurfaces optiques.

métasurface;faisceau vortex;laser à cavité verticale;dispositifs photoniques intégrés