Films conducteurs transparents à base de ZnO

SHI Junda ,  

YANG Ruqi ,  

HU Dunan ,  

LIU Rumin ,  

YU Tao ,  

LYU Jianguo ,  

摘要

Le ZnO est un matériau semi-conducteur typique de la troisième génération, avec une large bande interdite de 3,37 eV. Le ZnO intrinsèque est un semi-conducteur de type n, et le dopage par des éléments donneurs peut considérablement améliorer ses caractéristiques de conduction de type n. Les films conducteurs transparents à base de ZnO présentent des avantages tels que l'abondance des matières premières, la diversité des méthodes de préparation et la possibilité de croissance à température ambiante. Ils peuvent être appliqués dans de nombreux domaines tels que la photonique, la détection, et la thermique optique. Parmi eux, le ZnO dopé à l'aluminium (AZO) est un oxyde conducteur transparent typique (TCO) très étudié. Cet article, focalisé sur les films AZO, fait une revue des avancées récentes concernant les films conducteurs transparents à base de ZnO, y compris les films monocouches dopés au ZnO, les films multicouches à base de ZnO, les films flexibles à base de ZnO et leurs propriétés physico-chimiques; il met l'accent sur la mobilité, la largeur de la bande interdite, la transmittance/absorption/réflectance et leurs relations; il décrit en détail les applications des films transparents conducteurs ZnO dans les diodes électroluminescentes, les cellules solaires, les capteurs, le chauffage semi-conducteur; enfin, il aborde les défis actuels et les perspectives d'évolution.

关键词

oxyde de zinc;films conducteurs transparents;dopage donneur;AZO;propriétés optoélectroniques

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