摘要
ZnO est un matériau semi-conducteur de troisième génération typique, avec une largeur de bande interdite de 3,37 électrons-volts. Le ZnO intrinsèque est un semi-conducteur de type n, et la technologie de dopage donneur peut considérablement améliorer ses propriétés de conduction de type n. L'oxyde conducteur transparent ZnO-Al (AZO) est un oxyde conducteur transparent typique (TCO) qui suscite beaucoup d'intérêt. Cet article se concentre sur les films minces d'AZO en tant que représentant principal, et passe en revue les dernières avancées dans la recherche sur les films minces conducteurs transparents à base de ZnO, y compris les films multicouches à base de ZnO, les films à base de ZnO flexibles, etc.
关键词
zinc oxide;transparent conductive film;Donor doping;AZO;Optoelectronic properties