Les transistors à couches minces à oxyde métallique (Metal oxide thin film transistors, MOTFTs) présentent une mobilité des porteurs élevée et une bonne stabilité électrique, offrant un potentiel important pour les applications d'écrans à grande taille avec plaques de commande à rétroéclairage. De plus, le procédé de fabrication des MOTFTs est compatible avec les transistors à couches minces en silicium amorphe, ce qui réduit les coûts de fabrication et confère un avantage concurrentiel considérable sur le marché. Cependant, la contradiction entre deux indicateurs clés de performance des MOTFTs — la mobilité et la stabilité — limite leur utilisation pour des applications d'affichage haut de gamme. Par conséquent, le développement de MOTFTs à haute mobilité et haute stabilité est devenu un sujet de recherche majeur et un point central de la concurrence industrielle. De nombreuses recherches indiquent que les systèmes de matériaux semi-conducteurs actifs à base d'oxydes dopés aux terres rares ont le potentiel d'atteindre cet objectif. Cet article passe en revue la conception des matériaux à base d'oxydes dopés aux terres rares combinant haute mobilité et haute stabilité, ainsi que les performances atteintes par les MOTFTs, en explorant les défis et le potentiel de développement des transistors à couches minces à oxyde métallique dopés aux terres rares (RE-MOTFTs).
关键词
transistors à couches minces à oxyde métallique;éléments de terres rares;mobilité;stabilité