Les semi-conducteurs à large bande interdite présentent un grand potentiel de développement pour la fabrication de détecteurs UV compacts sans filtre et aveugles à la lumière du jour. Cet article, combinant l'expérience de notre équipe sur des films monocristallins MgZnO par épitaxie par jets moléculaires et des films amorphes de Ga2O3 par pulvérisation magnétron ainsi que les détecteurs UV aveugles à la lumière du jour correspondants, passe en revue les progrès de la recherche sur les détecteurs UV profonds basés sur les semi-conducteurs oxydes à large bande interdite représentés par MgZnO et le Ga2O3 amorphe. Il est découvert que les films amorphes de Ga2O3 possèdent des caractéristiques de réponse UV profondes comparables aux films monocristallins. De nombreuses études montrent que les défauts liés aux vacants d'oxygène jouent un rôle crucial dans la performance des dispositifs, et leur contrôle rationnel peut améliorer efficacement les performances des dispositifs. De plus, l'effet photoconducteur persistant associé aux défauts de vacants d'oxygène offre une nouvelle perspective pour le développement de dispositifs synaptiques photoniques UV profonds. Enfin, une analyse des problèmes existants dans les recherches précédentes est proposée, avec l'espoir de promouvoir davantage l'application industrielle des matériaux semi-conducteurs oxydes à large bande interdite, en particulier de l'amorphe Ga2O3, dans le domaine de la détection UV profonde.
关键词
UV aveugle au jour; détecteur photodétecteur; oxyde de magnésium et zinc; oxyde de gallium; amorphe