La circuit de redressement est un composant clé de la microsystème de collecte d'énergie qui convertit le courant alternatif en courant continu.Il joue un rôle crucial dans le système. Les diodes à jonction traditionnelles en silicium ou en germanium entravent l'intégration du système en raison de leurs procédés de fabrication spéciaux. En revanche, les diodes à base d'oxyde métallique présentent des avantages en termes d'intégration système grâce à leur technique de fabrication simple. Une étude récente montre que les défauts de lacunes d'oxygène dans les semi-conducteurs à oxyde métallique peuvent avoir un impact considérable sur les propriétés électriques des dispositifs, de sorte que la régulation de la concentration de lacunes d'oxygène peut efficacement contrôler les performances de la diode.Pour optimiser les performances de la diode, la présente étude parvient à contrôler efficacement la concentration de lacunes d'oxygène dans les films minces de InGaZnO en ajustant le débit d'oxygène pendant le processus de pulvérisation. Les résultats expérimentaux montrent que la diode présente une densité de courant direct de 43,82 A·cm-2 à une tension de 1 V, un taux de redressement de 6,94 × 10^4, capable de redresser efficacement un signal sinusoïdal d'entrée à une fréquence de 1 kHz et une tension de 5 V, démontrant son immense potentiel dans la conversion et la gestion de l'énergie. En contrôlant les lacunes d'oxygène, la présente étude offre des idées et des méthodes pour optimiser les performances de la diode.

InGaZnO; Diode Schottky; Lacunes d'oxygène; Performances de redressement