L'effet de la technique de recuit thermique composite NH₃/N₂ sur la qualité cristalline, les propriétés lumineuses et la conductivité électrique des matériaux GaN à forte concentration de dopage Mg a été étudié. Les résultats expérimentaux montrent que, par rapport au procédé traditionnel de recuit thermique à haute température en atmosphère N₂, le recuit thermique à haute température en atmosphère NH₃ peut améliorer la qualité cristalline des matériaux GaN dopés à forte concentration de Mg, tout en favorisant le dopage effectif des atomes accepteurs Mg, ce qui renforce l'intensité du pic de lumière bleue dans le spectre de photoluminescence. La technique composite combinant un recuit thermique à haute température en atmosphère NH₃ et un recuit thermique à basse température en atmosphère N₂ permet d’obtenir des matériaux GaN à forte concentration de Mg avec une réduction significative de la concentration d’électrons de fond internes. Cela est dû au fait que les produits de décomposition thermique de NH₃ pendant le recuit à haute température peuvent efficacement réduire la concentration des défauts donneurs peu profonds tels que les lacunes d'azote et les atomes de Ga interstitiels, améliorant ainsi la conductivité des matériaux GaN dopés à forte concentration de Mg.

nitrure de gallium;dopage Mg;procédé de recuit thermique;ammoniac