Pour étudier l'efficacité d'inactivation des virus des dispositifs LED à base de AlGaN émettant à différentes longueurs d'onde fabriqués sur un substrat AlN traité thermiquement à haute température, sept groupes de dispositifs LED ultraviolet profond à base de AlGaN émettant entre 257 et 294 nm ont été fabriqués et leur efficacité d'inactivation du virus Coxsackie a été étudiée. Les résultats expérimentaux montrent que le traitement thermique à haute température du substrat AlN peut réduire la densité de dislocations du substrat AlN à 1,33×10⁷ cm^-2, posant ainsi une bonne base pour la fabrication de dispositifs LED efficaces à base de AlGaN ; sous des conditions expérimentales avec une distance d'inactivation de 2 cm et un temps d'irradiation UV de 30 s, les dispositifs LED à base de AlGaN avec une longueur d'onde centrale d'émission entre 257 et 278 nm ont un taux d'inactivation du virus Coxsackie ≥99,90 %, tandis que ceux avec des longueurs d'onde centrales de 288 nm et 294 nm ont un taux d'inactivation respectivement de 99,47 % et 96,15 %. D'après ces résultats, les dispositifs LED à base de AlGaN émettant entre 257 et 278 nm conviennent à une application dans le domaine de la désinfection virale ; dans les conditions expérimentales de ce travail, les LED UV profond à base de AlGaN avec une longueur d'onde supérieure à 288 nm ont une efficacité d'inactivation virale plus faible.

Traitement thermique à haute température;Substrat AlN;AlGaN;LED;Inactivation virale