Afin d'examiner l'efficacité d'inactivation des virus des dispositifs LED à base d'AlGaN fabriqués sur des substrats AlN traités thermiquement à haute température avec différentes longueurs d'onde d'émission, 7 groupes de dispositifs LED profonds UV à base d'AlGaN ont été fabriqués dans la plage de longueurs d'onde de 257 à 294 nm, et leur efficacité d'inactivation du virus Coxsackie a été étudiée. Les résultats expérimentaux montrent que le traitement thermique à haute température du substrat AlN peut réduire la densité des dislocations du substrat à 1,33×10⁷ cm^-2, créant une bonne base pour la fabrication de dispositifs LED efficaces à base d'AlGaN ; les dispositifs LED à base d'AlGaN fabriqués sur substrat AlN traité thermiquement à haute température, dans des conditions expérimentales avec une distance d'inactivation de 2 cm et un temps d'irradiation UV de 30 s, ont un taux d'inactivation du virus Coxsackie ≥ 99,90 % pour les longueurs d'onde centrales comprises entre 257 et 278 nm, tandis que les LED à longueurs d'onde centrales de 288 nm et 294 nm ont des taux d'inactivation respectifs de 99,47 % et 96,15 %. Selon ces résultats, les dispositifs LED à base d'AlGaN dengan des longueurs d'onde entre 257 et 278 nm sont adaptés à une utilisation dans le domaine de l'élimination des virus ; dans les conditions expérimentales de ce travail, les dispositifs LED UV profonds AlGaN à longueur d'onde supérieure à 288 nm présentent une efficacité moindre pour l'inactivation des virus.

Traitement thermique à haute température;Substrat AlN;AlGaN;LED;Inactivation des virus