Les excellentes propriétés matérielles du diamant lui confèrent un grand potentiel d'application dans le domaine de la détection UV aveugle solaire. Cet article utilise un équipement de dépôt chimique en phase vapeur plasma micro-ondes pour déposer un film mince de diamant sur un substrat silicium monocristallin à surface (111), et basé sur ce film, un détecteur UV solaire aveugle en diamant avec électrodes en graphite en structure MSM à doigts entrelacés a été fabriqué par pyrolyse de la photorésine, fournissant une nouvelle méthode pour la réalisation de détecteurs diamant 100 % carbone. Les résultats montrent que le film de diamant sur le substrat en silicium est un film polycristallin à forte orientation, avec une largeur de demi-pic du balayage XRD sur la surface (111) de 0,093°, le pic caractéristique du diamant dans le spectre Raman situé à 1332 cm-1, et une largeur de demi-pic de 4 cm-1, indiquant une bonne qualité cristalline du film ; le courant d'obscurité du détecteur UV à électrode de graphite sous une tension de polarisation de 5 V est de 2,07×10-8 A, le rapport courant lumière/obscurité est de 77, les caractéristiques de commutation sont bonnes, et le détecteur à électrode de graphite présente une excellente réponse temporelle, avec un temps de montée de 30 ms et un temps de descente de 430 ms.

film de diamant;électrode en graphite;détecteur UV solaire aveugle