Les films minces de SnO_x déposés en couche atomique présentent une bonne uniformité et densité, et sont souvent utilisés pour améliorer la stabilité des cellules solaires pérovskites à structure plane inversée. Les propriétés des films SnO_x influencent de manière significative l'efficacité de conversion d'énergie (Power conversion efficiency, PCE) des dispositifs. Cet article régule les niveaux d'énergie et la conductivité des films SnO_x via les sources d'oxygène (H₂O, O₃), afin d'améliorer la PCE. Les résultats montrent que les films SnO_x utilisant uniquement O₃ comme source d'oxygène (désignés O₃-SnO_x) présentent un meilleur alignement des niveaux d'énergie ; tandis que les films avec uniquement H₂O comme source (H₂O-SnO_x) ont une conductivité plus élevée. Les films préparés avec une source d'oxygène mixte O₃ et H₂O (MIX-SnO_x) combinent un appariement des niveaux d'énergie et une bonne conductivité, améliorant efficacement la PCE jusqu'à 20,9%. De plus, grâce à la structure dense des films SnO_x, l'invasion externe d'eau et d'oxygène et la décomposition interne des matériaux sont efficacement évitées, améliorant ainsi la stabilité du dispositif, qui conserve plus de 86% de sa PCE initiale après un vieillissement de plus de 646 heures à 85 ℃ (en atmosphère d'azote).

Cellules solaires pérovskites;Dépôt en couche atomique;Contrôle de la source d'oxygène;SnO_x