Des électrodes en fourche d'or (Au) ont été préparées sur des films de diamant polycristallin obtenus par dépôt chimique en phase vapeur par jet plasma à courant continu (DC-PJCVD), pour construire un détecteur UV aveugle solaire avec une structure métal-semi-conducteur-métal (MSM). L’effet des différents procédés de photolithographie sur les performances des dispositifs en diamant a été étudié. Les résultats montrent que les dispositifs fabriqués par photolithographie lift-off surpassent nettement ceux réalisés par photolithographie humide : I_light est multiplié par 4,4, le rapport courant lumière/sombre est amélioré de 6,8 fois, et la responsivité à 25 V est augmentée de 9 fois, atteignant 0,15 A/W. Sur cette base, des électrodes en fourche d’or, de titane, Ti/Au et argent ont été fabriquées par lift-off et les performances des détecteurs UV en diamant avec ces électrodes métalliques ont été comparées. L’électrode en argent, grâce à un effet de tunnel de barrière induisant un gain, montre les meilleures performances parmi les quatre : à 25 V, I_light atteint 0,21 μA, la responsivité monte à 0,78 A/W, ce qui est comparable aux dispositifs déjà rapportés. Par rapport aux dispositifs avec électrode Au ordinaire, le photocourant est multiplié par 5,2, le rapport lumière/sombre est amélioré par 7 fois et la responsivité augmente de 5,2 fois.

films de diamant; processus photolithographique lift-off; électrodes Ag; détecteur UV aveugle solaire