Spektrale Methoden zur Bestimmung der Bandlücke von Halbleitern

ZHANG Yong ,  

摘要

Obwohl verschiedene spektroskopische Techniken zur Extraktion der Verbotsbandbreite oder Bandlücke von Halbleitern zur Verfügung stehen, gehören die meisten zu einer der folgenden drei Methoden: (1) Exzitonenabsorption, (2) Modulationsspektroskopie, (3) das am weitesten verbreitete Tauc-Diagramm. Die Exzitonenabsorption basiert auf der Mehrteilchentheorie und ist physikalisch am eindeutigsten, erfordert jedoch eine höhere Kristallqualität, Probenvorbereitung und experimentelle Durchführung. Das Tauc-Diagramm basiert auf der Einteilchentheorie und ignoriert Mehr-Elektronen-Effekte. Die Modulationsspektroskopie analysiert differentielle spektrale Merkmalevon Reflexion und Transmission unter äußerer Störung. Empirisch sind die Bandlückenenergien aus diesen drei Methoden in der Reihenfolge Eex > EMS > ETP sortiert, wobei die drei Übergangsenergien jeweils aus Exzitonenabsorption, Modulationsspektroskopie und Tauc-Diagramm stammen. Grundsätzlich erwarten wir, dass, wenn Eg als Einzel-Elektronen-Bandlücke definiert wird, Eg > Eex gilt, somit auch Eg > ETP. In der Literatur wird ETP oft als Eg interpretiert, was konzeptionell problematisch ist. Dennoch wird in vielen Fällen aufgrund der Schwierigkeit, den Exzitonenabsorptionspeak zu beobachten, die Inkonsistenz zwischen Eg und ETP nicht bemerkt. Diese kurze Übersicht verwendet Beispiele aus echten Proben, um (1) zu veranschaulichen, wie die Exzitonenabsorptionsmerkmale von Probe und Messbedingungen abhängen; (2) Unterschiede zwischen Eex, EMS und ETP aufzuzeigen, wenn sie gleichzeitig extrahiert werden können; (3) zu demonstrieren, wie das weitverbreitete Tauc-Diagramm irreführende Ergebnisse liefern kann. Abschließend wird darauf hingewiesen, dass wenn der Exzitonenabsorptionspeak nicht beobachtet werden kann, die Modulationsspektroskopie typischerweise eine nützlichere und vernünftigere Bandlücke als das Tauc-Diagramm liefern kann.

关键词

Halbleitermaterialien;Bandlücke;Exzitonenabsorption;Modulationsspektroskopie;Tauc-Diagramm

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