Zweidimensionale monokline Molybdändioxid-Filme weisen hervorragende Eigenschaften auf, die mit Edelmetallen vergleichbar sind, und können durch die Filmdicke eingestellt werden. Sie zeigen ein großes Anwendungspotenzial in Bereichen wie Umweltüberwachung, Abwasserdetektoren und Sensoren. Eine der Voraussetzungen für die Herstellung leistungsstarker zweidimensionaler Molybdändioxid-Filmgeräte ist die Fähigkeit, die Filmdicke in situ schnell und zerstörungsfrei zu messen. In dieser Arbeit wird die Abhängigkeit des Raman-Spektrums von der Filmdicke bei zweidimensionalen Molybdändioxid-Filmen untersucht und eine Methode zur zerstörungsfreien In-situ-Messung der Filmdicke vorgestellt. Mit einer Anregungsquelle von 532 nm kann die Verschiebung des charakteristischen Raman-Peaks bei 127 cm^-1 die Dickenänderungen des Materials effektiv widerspiegeln. Durch Änderung der Anregungspolarisation kann zusätzlich die Ausrichtung der Kristallachse des zweidimensionalen Molybdändioxid-Films kalibriert werden. Diese Raman-Spektren-Ergebnisse bieten ein effektives und praktisches Mittel zur Überwachung der Filmdicke in zweidimensionalen Molybdändioxid-Filmgeräten.

Molybdändioxid-Filme;Raman-Spektroskopie;Zerstörungsfreie In-situ-Messung