Die monokline zweidimensionale Molybdändioxid-Folie weist herausragende Eigenschaften auf, die mit Edelmetallen vergleichbar sind, und kann durch die Schichtdicke angepasst werden. Sie zeigt großes Anwendungspotential in den Bereichen Umwelt- und Abwasserüberwachung sowie Sensoren. Eine Voraussetzung für die Herstellung leistungsfähiger zweidimensionaler Molybdändioxid-Geräte ist die Fähigkeit zur in-situ, schnellen und zerstörungsfreien Dickenmessung der Folie. In dieser Arbeit wird die Abhängigkeit des Raman-Spektrums zweidimensionaler Molybdändioxid-Filme von der Filmdicke untersucht und eine Methode zur in-situ zerstörungsfreien Dickenmessung vorgestellt. Mit einer Anregungsquelle bei 532 nm spiegelt die Verschiebung des Raman-Charakteristikpeaks bei 127 cm^-1 effektiv die Materialdickenänderung wider. Durch die Änderung der Polarisation des Anregungslichts kann zudem die Kristallachsenorientierung der Molybdändioxid-Filme kalibriert werden. Diese Raman-Spektroskopie-Ergebnisse bieten ein effektives und praktisches Mittel zur Überwachung der Folienstärke in zweidimensionalen Molybdändioxid-Geräten.

Molybdändioxid-Film; Raman-Spektroskopie; in-situ zerstörungsfreie Messung