Monokline zweidimensionale Molybdändioxid-Filme weisen hervorragende Eigenschaften auf, die mit Edelmetallen vergleichbar sind, und können durch die Filmdicke eingestellt werden. Sie zeigen ein großes Anwendungspotential in Bereichen wie Umwelt-, Abwasserüberwachung und Sensorik. Eine der Voraussetzungen für die Herstellung leistungsfähiger zweidimensionaler Molybdändioxid-Filmgeräte ist die Fähigkeit, die Filmdicke in situ, schnell und zerstörungsfrei zu messen. In diesem Artikel wird eine Methode zur in situ zerstörungsfreien Dickenmessung von zweidimensionalen Molybdändioxid-Filmen vorgestellt, basierend auf der Untersuchung der Abhängigkeit des Raman-Spektrums von der Filmdicke. Bei Verwendung einer Anregungslichtquelle mit 532 nm kann die Verschiebung des charakteristischen Raman-Peaks bei 127 cm^-1 effektiv die Dickenänderung des Materials widerspiegeln. Durch Ändern der Polarisierung des Anregungslichts kann zusätzlich die Ausrichtung der Kristallachsen der zweidimensionalen Molybdändioxid-Filme kalibriert werden. Die Ergebnisse der Raman-Spektroskopie bieten ein effektives und bequemes Mittel zur Überwachung der Filmdicke in zweidimensionalen Molybdändioxid-Filmgeräten.

Molybdändioxid-Filme; Raman-Spektroskopie; in situ zerstörungsfreie Messung