Die relativ niedrige Lichtextraktionswirkungsgrad von AlGaInP-basierten roten Micro-LEDs begrenzt die Lichtintensität des Geräts. Dieser Artikel schlägt eine selbstorganisierte Ni-Metall-Nanomasken- und Nassätztechnik vor, um eine GaP-Oberflächentextur mit hoher Dichte und hoher Gleichmäßigkeit zu erhalten. Durch die Oberflächentextur wird der kritische Winkel erhöht und der Totalreflexionseffekt verringert, wodurch die Lichtextraktionswirkungsgrad des Geräts effektiv verbessert wird. Mit Nickelmasken unterschiedlicher Dicke wurden unterschiedliche Oberflächenmorphologien erhalten. Die Ergebnisse zeigen, dass bei einer Stromdichte von 20 A/cm² die Lichtintensität und die externe Quanteneffizienz von Micro-LEDs, die mit einer 1 nm dicken Nickelmetall-Nanomasken-Nassätzung behandelt wurden, im Vergleich zu Micro-LEDs ohne Oberflächentextur um 21,04 % bzw. 23,58 % erhöht wurden. Es wurde eine Methode vorgeschlagen, die trockene ICP-Ätzung in Kombination mit Nassätzung verwendet, um eine bienenwabenförmige zylindrische Oberflächentextur herzustellen. Nach der ICP-Ätzung der GaP-Schicht und der anschließenden Nasskorrosion für unterschiedliche Zeiten wurden bei einer Stromdichte von 20 A/cm² die Lichtintensität und die externe Quanteneffizienz von Micro-LEDs, die mit ICP-Ätzung und Nassätzung (10 s * 3-mal) behandelt wurden, im Vergleich zu Micro-LEDs ohne Oberflächentextur um 81,61 % bzw. 48,40 % erhöht.

AlGaInP;invertiert;Lichtextraktionswirkungsgrad;Micro-LED;Oberflächentextur