Galliumoxid hat Vorteile wie geringe Absorption von Röntgenstrahlung, hohes elektrisches Feld, geringen Dunkelstrom und hohe physikalisch-chemische Stabilität und ist eines der wichtigen Materialien für die direkte Umwandlung von Röntgenstrahlung. Dieser Artikel umreißt ausführlich die Röntgendetektoreigenschaften von Galliumoxid und präsentiert die Fortschritte bei der Geräteforschung. Derzeit wurden Röntgendetektoren aus Materialien wie amorphem Galliumoxid, polykristallinem Galliumoxid (einschließlich Mikrokristallen und Nanokristallen), orientierten epitaktischen Filmen aus Galliumoxid, monokristallinem Galliumoxidblock und mikroskopischen Galliumoxidleitungen vorbereitet. Ihre Detektionsleistung, die verwendeten Strukturen wie Metall-Halbleiter-Metall (MSM), die Schottky-Struktur, heterostrukturierte und Vakuumschaltungen sowie mehrere photoelektrische Umwandlungsmechanismen wie Fotoconductance, Carrier-Multiplikation und Anwendung des Fotoconductance-Effekts, einschließlich des möglichen Elektronenavalanche-Effekts werden dargelegt. Im Anwendungsbereich der Geräte wird der Einsatz von Galliumoxid-Röntgendetektoren in Strahlungsdosimetern, Röntgenbildgebung und tragbaren Röntgensensoren gezeigt. Basierend auf den genannten Fortschritten versuchen die Autoren des Artikels, die zukünftige Ausrichtung der Forschung zu den Röntgendetektoren von Galliumoxid zu betrachten.